光譜共焦位移傳感器在半導(dǎo)體領(lǐng)域的應(yīng)用

隨著科技的飛速發(fā)展，以半導(dǎo)體終端為核心的電子產(chǎn)品不斷更新?lián)Q代，每一代的技術(shù)革新都深深融入于我們生活的方方面面。而制造業(yè)的不斷發(fā)展，對產(chǎn)品精度、對產(chǎn)品檢測效率的要求也不斷提高，進而推動檢測儀器的快速發(fā)展和迭代升級。在半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展得如火如荼的當下，更需要借助高端精密測量設(shè)備，保證半導(dǎo)體芯片的零部件良品率顯著上升。

相比于激光位移位移傳感器，光譜共焦傳感器的精度更高可以達到微米及以上，是光學(xué)領(lǐng)域常用的高精度測量技術(shù)之一。

光譜共焦的測量原理是一束白光經(jīng)過鏡頭將不同的波長聚焦到光軸上，色散地形成一條彩虹狀分布帶，照射到樣品上，部分反射光反射回去，照射在光軸與物體表面交點的光經(jīng)過分光部件，通過小孔照射到光譜分析儀，根據(jù)波長計算就可以獲得到被測物體距離。

在半導(dǎo)體領(lǐng)域，光譜共焦位移傳感器具有廣泛的應(yīng)用前景，如下所示：

一、半導(dǎo)體制造過程中的質(zhì)量檢測

在半導(dǎo)體制造過程中，可以選用海伯森光譜共焦位移傳感器進行精密檢測，如芯片管腳平整度、晶圓深度/厚度等，從而判斷產(chǎn)品的質(zhì)量是否合格。

二、半導(dǎo)體設(shè)備的振動監(jiān)測

半導(dǎo)體設(shè)備在運行時會產(chǎn)生震動，這些震動會對設(shè)備的性能和壽命產(chǎn)生影響。因此，需要對半導(dǎo)體設(shè)備的震動進行監(jiān)測。在這個過程中，可以選用海伯森光譜共焦位移傳感器，對設(shè)備的振動情況進行檢測，從而為設(shè)備的維護和保養(yǎng)提供參考依據(jù)。

綜合地說，海伯森光譜共焦位移傳感器可以提供高精度和非接觸式的物體測量和檢測功能，除了半導(dǎo)體行業(yè)，還能廣泛應(yīng)用于玻璃鏡片等高反光材料、手機中框、鋰電新能源等眾多領(lǐng)域。作為專研于先進高端傳感器技術(shù)的企業(yè)，海伯森將持續(xù)鉆研和探索更具核心力的國產(chǎn)傳感器產(chǎn)品，為制造業(yè)的未來發(fā)展持續(xù)賦能。