線長(zhǎng)5.9mm,量程3mm,Z軸重復(fù)性0.1μm
線長(zhǎng)5.9mm,量程2.4mm,Z軸重復(fù)性0.2μm
重復(fù)性0.4μm 2σ,最小可測(cè)刀具直徑Φ20μm,最高對(duì)刀專屬(主軸轉(zhuǎn)速)200,000rpm
線長(zhǎng)13mm,量程6mm,Z軸重復(fù)性0.15μm
重復(fù)性0.3μm 2σ,最小可測(cè)刀具直徑Φ20μm,最高對(duì)刀轉(zhuǎn)速(主軸轉(zhuǎn)速)200,000rpm
160*60,0.25~8m,F(xiàn)OV:76*32deg
Φ94mm,9.09±1.2mm,±62°
2路PNP/NPN光耦隔離輸出,2000Hz開關(guān)頻率
120mm超大檢測(cè)空間,2kHz超高檢測(cè)頻率
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