光譜共焦傳感器都有些有什么應(yīng)用呢?要怎么選型?海伯森技術(shù)(深圳)有限公司小編這邊跟大家分享一下。
1、表面粗糙度、平整度測量
表面粗糙度測量通常采用接觸式測量和非接觸式測量。但是接觸式測量成本高、精度不足,且容易造成表面損耗,現(xiàn)在逐漸被機器視覺檢測(非接觸式檢測)替代,常用的非接觸法主要有干涉法、散斑法、散射法、聚焦法等。而其中聚焦法較為簡單實用。
運用光譜共焦位移傳感器HPS-CF系列可檢測零件表面的磨損、密封、潤滑、疲勞、研和等機械性能。
2、輪廓、幾何尺寸測量
選用高精度光譜共焦傳感器測頭,可實現(xiàn)對超精密零件的二維尺寸、表面輪廓弧度的測量。不同的場景對傳感頭的選型不一樣,例如要測量零件通孔的孔徑可選擇HPS-CFL007,需要測量高反光球面,可以選擇角度兼容性更高的HPS-CFL094,要測量表面微小劃痕、縫隙可以選用HPS-CFL036。
3、材料厚度測量
由于光譜共焦傳感器對于不同的反射面反射回來的單色光的波長不同,因此對于材料的厚度精密測量有著獨特的優(yōu)勢。就像光學(xué)玻璃、晶圓表面、生物薄膜等,通過安裝雙頭測厚支架,兩個反射面都反射不同波長的單色光,這樣只需一個控制器就能夠推算出它的厚度,并且測量精度能夠達微米量級,線性誤差能到0.22μm。
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