光譜共焦傳感器的兩種測量模式

光譜共焦測量技術通過分析不同波長光在特定表面的焦點位置，進行高精度尺寸測量和微觀形態(tài)分析。它可以同時獲得樣品的光學圖像和光譜信息，可以用于微觀尺度下的成分分析和結構表征。在實際應用中，光譜共焦傳感器有多種測量模式，其中包括位移測量模式和厚度測量模式。

1.位移測量模式

位移測量模式輸出z方向的高度值，讀取XY的位移量，直接輸出點云坐標。該模式與三坐標、結構光、激光三角等測量方法相一致，不同之處在于光譜共焦支持反射面的測量，具有亞微米級的測量精度。

位移量測模式適用于大多數精確尺寸量測場景，您可以選取點、線和面的量測樣本。點測量適用于測量物體的振動和液體的高度，輸出不同時刻的z方向的值來輔助分析。線性測量可連續(xù)記錄運動樣本表面的z方向值，用于斷差檢測和2D尺寸分析。面測量提供樣品表面的完整三維形態(tài)數據，可以進行綜合粗糙度等項目的分析。

2.厚度測量模式

當測量透明樣本（如玻璃和透鏡）時，兩種不同波長的光將聚焦于樣本的正面和背面，引入樣本的折射率參數，然后可以計算樣本的厚度值。與游標卡尺等傳統接觸式測量工具相比，光譜共焦測量具有所有非接觸式光學測量的優(yōu)點，同時還具有單側測量可獲取樣品厚度值的特性。

因為折射率直接影響厚度測量的數據精度，開始測量時要確認樣品的折射率。折射率可以參考同種材料的數值，但為了得到更高精度的厚度測量結果，需要用折射率計測量樣品的折射率。

總的來說，光譜共焦傳感器的位移測量模式和厚度測量模式是其常見的兩種測量模式。位移測量模式主要用于測量樣品表面的微小位移和結構的微小變化，而厚度測量模式主要用于測量樣品的厚度和薄膜的厚度分布。這兩種測量模式在材料科學、生物醫(yī)學、納米技術等領域中有著廣泛的應用。